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螺杆泵 MS600A

MS係列是螺杆型幹式真空泵。在傳統的LS係列的基礎上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。

所屬分類：

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真空泵

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螺杆式真空泵

MS係列

螺杆幹泵

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  • 產品特點和用途
  • 產品參數和曲線圖
  • |特點

    1、通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊塗層處理，以防腐蝕；

    2、采用ULVAC獨特設計的轉子軸，實現高性能的排粉；

    3、從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。

     

    |用途

    1、半導體和電子器件製造設備相關的真空排氣係統，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等；

    2、真空熱處理爐真空排氣係統，如燒結爐、滲碳爐等；

    3、鋰電池製造設備真空排氣係統，如電極幹燥設備、脫泡設備、注液設備等；

    4、醫療食品設備相關的真空排氣係統，如冷凍幹燥設備、真空幹燥設備等。

     

  • |規格參數
    型式　 MS-120A MS-600A MS-1200A
    排氣速度 m3/h 115.0  560.0  980.0 
    極限壓力 Pa ≦0.6 ≦0.1
    電機電壓 V 200V ：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or；400V ：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
    額定功率 kW 2.4 3.1
    冷卻水量 L/min 4.0 
    氣體吹掃 SLM      
    噪音值 dB(A) 61 62 64
    進氣口   KF50 / VG50 ISO-F-80 ISO-F-100
    排氣口   KF40
    重量 kg 139 241 264
    尺寸 mm      
    備注        

     

    |排氣曲線圖

     

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