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真空計 SH200-A/R/E

SH200-A/R/E真空計是新係列的傳感器類型 "G-TRAN係列複合電離真空計"，可以實現不同的測量範圍。作為B-A型電離真空計、可以測量超高真空。保留了以往的寬幅測壓和低運行成本的理念，但進行了改進，更加人性化。適用於各種製造設備的高真空區域測量的電子元件和半導體等。

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  • 產品特點和用途
  • 產品參數和曲線圖
  • |特點

    1、可連接到不同的測量範圍：複合電離真空計可以根據;
    2、小型化：與之前的產品相比，實現了尺寸的大幅縮小（控製器體積縮小56%），成為同級別最小的產品之一；
    3、操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設定點設置、狀態確認等；
    4、更強大的產品陣容：除模擬輸出規格（SH200-A）和串行通信規格（SH200-R）外，還將增加EtherCAT規格（SH200-E）；
    5、燈絲壽命通知功能：通過監測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
    壓力測量範圍廣：從大氣壓到高真空範圍（1×10+5～5×10-8Pa）（選配SWU10-R的情況下）；
    6、可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）

    |用途

    1、用於各種製造設備的高真空區域的工藝監控，包括半導體和電子元件；

    2、用於具有多個處理室的各種製造設備的高真空區域的極限壓力測量，例如in-line式和枚葉式；

    3、高真空・超高真空設備的壓力測量。

  • |規格參數

     

    型式　 SH200-A SH200-R SH200-E
    機型規格 標準規格 串口通信規格 EtherCAT規格
    適應多離子傳感器 SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
    可以連接的傳感器 多離子傳感器：1本
    皮拉尼真空計SWU10-R：1本（可選）
    大其他傳感器SAU：1本（可選）
    測量精度（N2） SH200本體模式：±2％
    傳感器內部容量 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46)
    使用溫度範圍 10～50℃
    使用濕度範圍 15～80%(不結露)
    保管溫度 -20～65℃(非通電時、不結露)
    IP保護等級 IP30
    電源電壓 DC20～28V (波紋，噪音1%以下)　
    8W以下
    輸入/輸出連接器 D-sub15銷（M2.6螺絲）
    重量 調節器：約280g　測定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
    外形尺寸W×D×H（mm） 69×63×90 (控製器部分)
    備注  

     

    |曲線圖

     

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