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真空計 ST200-A/R/E

ST200-A/R/E 真空計是G-TRAN係列複合電離真空計"的新型號，可以實現不同的測量範圍。作為三極管電離真空計，該產品不易發生靈敏度下降，即使在真空計的惡劣環境下，也能實現更長時間、更精確的真空測量。在保留以往高壽命、低運行成本理念的基礎上，進行了改進，更加人性化。適用於有機EL・觸摸屏等製造設備、真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環境中進行測量等。

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產品特點和用途
產品參數和曲線圖

|特點

1、操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設定點設置、狀態確認等；
2、燈絲壽命通知功能：通過監測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命；
3、可連接到不同的測量範圍：複合電離真空計可以根據工藝選擇測定子；
4、小型化：與之前的產品相比，實現了尺寸的大幅縮小（控製器體積縮小56%），成為同級別最小的產品之一；
5、更豐富的陣容：除了模擬輸出規格（ST200-A）和串行通信規格（ST200-R）之外，還將增加EtherCAT規格（ST200-E）；
6、世界上第一台三極管金屬電離真空計（正在申請專利）：即使在惡劣的環境中，真空計的使用壽命也很長；
7、壓力測量範圍廣：從大氣壓到高真空範圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）；
8、可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。

|用途

1、用於有機EL・觸摸屏等製造設備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業真空設備的極限壓力確認；
2、用於在含有多種碳氫化合物（油類）的環境中進行測量；
3、用於在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環境中進行測量；
4、用於需要降低測定子更換頻率的真空設備。

※ 在腐蝕性氣體（鹵素氣體）環境中使用時請谘詢我們。

|規格參數

型式	ST200-A	ST200-R	ST200-E
機型規格	標準規格	串口通信規格	EtherCAT規格
適應多離子傳感器	SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
可以連接的傳感器	多離子傳感器：1本皮拉尼真空計SWU10-R：1本（可選）大其他傳感器SAU：1本（可選）
測量精度（N2）	ST200本體模式：±2％
傳感器內部容量	17cm3(SWT-16), 19cm3(SWT-25)
使用溫度範圍	10～50℃
使用濕度範圍	15～80%(不結露)
保管溫度	-20～65℃(非通電時、不結露)
IP保護等級	IP30
電源電壓	DC20～28V (波紋，噪音1%以下)　 8W以下
輸入/輸出連接器	D-sub15銷（M2.6螺絲）
重量	調節器：約280g　測定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
外形尺寸W×D×H（mm）	69×63×90 (控製器部分)
備注