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磁懸浮渦輪分子泵 UTM-1001FW

FW款具有廣域、大流量的排氣性能的渦輪分子泵。渦輪分子泵主要應用於半導體、薄膜等工業領域。

所屬分類：

數字磁懸浮型

磁懸渦輪浮分子泵

關鍵詞：

數字磁懸浮型

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  • 產品特點和用途
  • 產品參數和曲線圖
  • |特點

    1、FH: 擁有高背壓、高壓縮型的排氣性能的渦輪分子泵；
    2、FW: 擁有廣域、大流量的排氣性能的渦輪分子泵。

     

    |用途

    主要應用於半導體、薄膜等工業領域。

  • |規格參數

     

     

    型式　 UTM-350FW UTM-480FW UTM-800FW UTM-1001FW UTM-1400FW UTM-2300FW UTM-3301FW
    泵本體 吸氣口 VG100 / ICF152 VG150 / ICF203 VG150 / ICF203 VG200 / ICF253 VG250 /200,ICF253 VG300/250,ICF305 VG350
    吸氣口 KF25 KF40
    排氣速度（L/sec） 350.0  480.0  810.0  1000.0  1490.0  2730.0  3300.0 
    極限壓力(n2)pa 10的負7次方 10的負8次方 10的負8次方
    最大壓縮比 >1010 >109
    冷卻方式 水冷 / 空冷 水冷
    質量（kg） 約 17 約 28 約 36 約 60 約 90
    輔助泵排氣速度（L/h） 17.4 48 90
    電源（D3型） 電源容量（KVA） 0.6 0.9 1.2 1.3 2.0 
    入力電壓/頻率 AC200-240V 單相50/60Hz
    質量（kg） 約10

     

    |曲線圖

     

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