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陶瓷軸承型渦旋分子泵 UTM300B
采用了陶瓷軸承的複合翼型渦輪分子泵，通過控製器和泵體一體化設計，可以節省空間。優良的高背壓特性，使輔助泵也可以小型化。渦輪分子泵主要應用於半導體、薄膜等工業領域。
所屬分類：
陶瓷軸承型
機械渦輪分子泵
關鍵詞：
陶瓷軸承型
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- 產品特點和用途
- 產品參數和曲線圖
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|特點
采用了陶瓷軸承的複合翼型渦輪分子泵，通過控製器和泵體一體化設計，可以節省空間。優良的高背壓特性，使輔助泵也可以小型化。
|用途主要應用於半導體、薄膜等工業領域。
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|規格參數
型式 UTM-300B 泵本體 吸氣口 VG100,ICF152,ISO100-K 排氣口 KF25 排氣速度（L/sec） 280.0 極限壓力(n2)pa 烘烤前（*3） 10的負8次方 烘烤後 10的負6次方 壓縮比 >1×109 冷卻方式 自然空冷 / 強製空冷 質量（kg） 約6-9.3 輔助泵排氣速度（L/h） 7.2以上 電源（D3型） 電源容量（KVA） DC24V-180W 入力電壓/頻率 |曲線圖
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