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低溫冷阱 CRYO-TS係列

CRYO-T係列，是使用了1段式GM冷凍機的以排除水氣為目的的能夠製造出高真空的低溫泵係列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。

所屬分類：

愛發科

真空泵

愛發科低溫冷阱

關鍵詞：

愛發科

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  • 產品特點和用途
  • 產品參數和曲線圖
  • |特點

    CRYO-T係列，是使用了1段式GM冷凍機的以排除水氣為目的的能夠製造出高真空的低溫泵係列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。

     

    |用途

    用於半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域。

  • |規格參數

     

    型式　   CRYO-U4H CRYO-U6H CRYO-U8H CRYO-U10H
    排氣速度 @20℃ L/s 氬        
    氫        
    氬        
    水        
    極限壓力 Pa    
    流量 Pa L/s 氬        
    氫        
    排氣容量   氬        
    氫        
    吸氣法蘭            
    冷卻下降時間 分          
    質量 KG          

     

    |曲線圖

     

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