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真空計 CCMT-10D
CCMT係列隔膜真空計，是采用陶瓷隔膜根據氣體的變化發生變形，隨著變化靜電容量中檢出壓力的真空計。主要用於對濺射設備、蒸發鍍膜設備、太陽能電池設備等的壓力監測。
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- 產品特點和用途
- 產品參數和曲線圖
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|特點
1、采用陶瓷（鋁）隔膜：優越的耐腐蝕性、長時間的穩定性；
2、可以測量絕對壓力：不受氣體種類的影響，可全壓測量；
3、溫度補償：內置溫度補償回路；
4、保護功能：采用保護結構保護傳感器不受飛行物影響；
5、預熱時間縮短：從接入電源開始，到穩定測量為止的時間大幅度縮短。
|用途1、應用於濺射設備、蒸發鍍膜設備等的成膜過程管理；
2、應用於太陽能電池等的各種製造設備的壓力監測等。
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|規格參數
型式 CCMT-1000D CCMT-100D CCMT-10D CCMT-1D 測量壓力範圍 133 KPa F.S 13.3 KPa F.S 1.33 KPa F.S 133 Pa F.S 實用測量下限壓力 13 Pa 1.3 Pa 0.13 Pa 1.3×10-2 Pa 分解能 66.6 Pa 6.7 Pa 0.67 Pa 6.7×10-1 Pa 測量精度 ±0.2% 測量值輸出 線性輸出（DC 0~10V） 電源電壓 DC14 - 30V 接頭規格 NW16、1/2 pipe（⊘）12.7、8VCR 外形尺寸 mm ⊘55×117 備注 |曲線圖
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