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螺杆泵 HR60
HR係列螺杆幹泵是通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。
所屬分類：
愛發科
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螺杆式真空泵
HR係列
螺杆幹泵
關鍵詞：
愛發科
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- 產品特點和用途
- 產品參數和曲線圖
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|特點
1、高溫區域均熱化 實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出； UR係列可比HR係列更加高溫化；
2、氦氣密封 通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全；
3、瞬停對策 采取了1000msec以內瞬停對策；
4、出色的耐腐蝕性 主要零部件均采用表麵硬度高、高耐腐蝕性的特殊表麵處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕；
5、通信功能 可讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告/報警履曆。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監控。
|用途1、CVD裝置；
2、蝕刻裝置；
3、灰化裝置；
4、ALD、ALH 等。
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|規格參數
型式 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200 使用泵 HR60 HR90 HR60 HR90 HR90 機械增壓泵 PRC-003A PRC-006A PRC-012A 最大排氣速度 50hz m3/h 62.0 112.0 359.0 653.0 1012.0 60hz m³/h 80.0 126.0 365.0 701.0 1051.0 極限壓力 Pa 5.0 0.7 電機電壓 V 200-220 額定功率 kW 冷卻水量 L/min >5.0 氣體吹掃 SLM 0~45 噪音值 dB(A) 進氣口 VG50(KF50) VG80(KF50) VG80(KF80) VG100(KF100) 排氣口 KF40 重量 kg 尺寸 mm 備注 |排氣曲線圖
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