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低溫泵 IS 320FX

低溫泵具有超卓的氫氣抽取性能，可提高工藝產量和吞吐量，為當今的離子注入應用挑戰提供出色的解決方案。低溫泵的內置智能係統控件可確保獲得更好的工藝質量、真空一致性和工作時間，同時提供實時的係統信息以優化陣列溫度的控製。通過自動適應不斷變化的熱/氣負載條件，提高真空質量。

所屬分類：

愛德華

低溫泵

愛德華低溫泵

On-Board® IS 低溫泵

關鍵詞：

愛德華

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  • 產品特點和用途
  • 產品參數和曲線圖
  • |特點

    320FX：

    1、分布式控製係統可監測並不斷調整低溫泵係統的各個元件

    2、保持優質的全係統真空性能，提供出色的流程一致性

    3、無論是單泵還是多泵配置，再生速度都很快 能源和冷卻水消耗低，卻不犧牲真空性能

    4、易於實現係統集成

    5、快速完成生產安裝

    6、增強的遠程監測功能，可進行預防性和預測性維護

     

    320F XVS：

    1、再生過程之間的 H2 抽速波動變小

    2、減少光刻膠汙染對 H2 抽速的影響

    3、優化、穩定的陣列溫度

     

     

    |用途

    用於半導體、平板和光學設備製造的精密低溫泵係統。

     

  • |規格參數

     

    型式　   320FX 320F XVS
    最大排氣速度 L/sec 氬 3800.0  2400.0 
    氫 15500.0  12500.0 
    空氣 4800.0  3600.0 
    水 1100.0  11000.0 
    極限壓力 Torr     <1.0×10-8
    最大流量 L 氫 40 30 / 40
    電機功率 VAC   200/230
    吸氣法蘭     ISO 320mm
    質量 KG     45.5
             

     

     

    |曲線圖

     

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