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機械渦輪分子泵 nEXT85 DN63
渦輪分子泵是一種多級軸流式渦輪機，其中的高速旋轉葉片通過增加氣體沿泵送方向移動的可能性來實現壓縮。渦輪分子泵針對分子流量條件進行了優化，需要一個大小合適的前級泵排氣到大氣中。
所屬分類：
NEXT機械渦輪分子泵
機械渦輪分子泵
關鍵詞：
NEXT機械渦輪分子泵
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- 產品特點和用途
- 產品參數和曲線圖
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|特點
1、渦輪分子泵的選擇範圍，選用抽速為47至400Ls﹣1的渦輪分子泵，以及DN40至DN16的入口法蘭。
2、集成控製，分子泵和真空計集成式控製器可實現對泵和最多3個真空計的完全控製，並且能夠實現完整的串行遠程通信。
3、排氣閥選項，可選擇的渦輪分子泵排氣閥可作為泵車組件的一部分訂購。
4、用戶可維護，所有nEXT渦旋分子泵和前級泵均可完全由用戶維修。
5、堅固的金屬框架，帶有鎖定腳輪的全金屬框架堅固並且便於移動的係統設計，包括安全台式操作工作台安裝套件。
6、前級泵選擇，前級泵可選1m﹣3h﹣1抽速的油封旋片泵或幹式泵。
7、低震動，後備泵安裝在防震動底座上，能夠有效降低前級泵振動對小車產生的影響。
|用途除了應對一般的研發市場（有時需要更快的抽速）外，這些泵還設計用於滿足塗層市場和其他擴散市場領域的要求，例如熱處理、熔爐應用、電子束焊接、蝕刻、離子植入、排氣和氣瓶抽空。
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|規格參數
型式 nEXT85 DN40 nEXT85 DN63 nEXT240 nEXT300 nEXT400 峰值抽速 Ls-1 N2 47.0 84.0 240.0 300.0 400.0 Ar 44.0 80.0 230.0 280.0 380.0 He 61.0 78.0 340.0 340.0 290.0 H2 49/44(D/H) 60/54(D/H) 280.0 280.0 325.0 壓縮比 N2 >1011 >1011(D&T) Ar He 8×106 / 2×107(D/H) 3×105 / 106(D/T) 106 / 3×106(D/T) 108 / >108(D/T) H2 2×105 / 5×105(D/H) 104 / 105(D/T) 5×104 / 105(D/T) 5×105 / 106(D/T) 極限真空（CF） mbar <5×10-10 最大允許前級壓力 mbar 18 9.5 / 20（D/T） 電機最大功耗 W 80（範圍50-120） 160（範圍50-200） 電機工作電壓 V（直流） 24 - 48 電機額定轉數 rpm 9000 6000 進氣法蘭 NW40 ISO63 / CF63 ISO100 / CF100 ISO160 / CF160 排氣法蘭 NW16 NW25 啟動到全速時間 s 115 145 175 冷卻方式 自然冷卻 / 強製風冷 / 水冷 控製器通訊接口 RS232,485 / I /O 質量 kg 3 3 或 4.5 6 或 9 7 或 10 備注 |曲線圖
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