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磁懸浮渦輪分子泵 STPiX457 DN100

STP係列磁懸浮渦輪分子泵因其質量和可靠性在市場上享有極高的聲譽,並且是許多具挑戰性的半導體應用的分子泵。對於實驗室應用,STP磁懸浮渦輪分子泵極為可靠,並且超長時間運行而無需維護。

所屬分類:

STP磁懸浮渦輪分子泵

磁懸渦輪浮分子泵

關鍵詞:

STP磁懸浮渦輪分子泵


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  • 產品特點和用途
  • 產品參數和曲線圖
  • |特點

     

    1、振動低,磁懸浮意味著無摩擦,因此振動極低,此外這種特性能夠保持不變,並且不會隨零件磨損而變化。

    2、無油,使用磁力軸承,因此無需使用任何碳氫化合物潤滑劑。

    3、自動平衡係統,愛德華5軸磁懸浮泵能夠動態調整磁場,從而防止轉子失衡。

    4、免維護,零摩擦意味著無磨損,因此在正常操作中無需進行任何日常維護。

    5、耐腐蝕性能,大多數愛德華 STP 磁懸浮渦旋分子泵還提供鍍鎳塗層的內部過流部件和氮氣吹掃設備的專用耐腐蝕型號,是化學實驗室應用的理想選擇。

     

    |用途

     

    除了應對一般的研發市場(有時需要更快的抽速)外,這些泵還設計用於滿足塗層市場和其他擴散市場領域的要求,例如熱處理、熔爐應用、電子束焊接、蝕刻、離子植入、排氣和氣瓶抽空。

     

  • |規格參數

     

    型式    STP301 DN100 STP451 DN160 STP603 DN160 STP1003 DN200 STPiX457 DN100 STPiX457 DN160 STPiX3006 DN250 STPiX3006 DN320
    峰值抽速 Ls-1 N2 300.0  480.0  650.0  1000.0  300.0  450.0  2300.0  2700.0 
    H2 300.0  460.0  550.0  800.0  300.0  460.0  2600.0  2700.0 
    壓縮比 N2 >108
    H2 2×104 >105 1×104 6×104
    極限真空(CF) mbar <5×10-10
    最大可處理氣體流量 N2 sccm / 120 1000
    連續運行允許最大入口壓力 mbar 6.7×10-4 1.3×10-4 1.3×10-3 /
    最大允許前級壓力 mbar 0.13 0.67 1.33
    電機最大功耗 W 350 800 240 1500
    電機額定轉數 rpm 48000 35000 55000 27000
    進氣法蘭   ISO100或CF100 ISO160或CF160 ISO160或CF160 ISO200或CF200 ISO100或CF100 ISO160或CF160 ISO250或CF250 ISO320 或 CF320
    排氣法蘭   NW25 NW40 NW25 NW40
    從啟動到加速90%的轉數所需時間 s 180 360 480 840
    冷卻方式   自然冷卻 / 強製風冷 / 水冷 自然冷卻/強製風冷 /
    控製器通訊接口   RS232 / I /O
    質量 kg 11 12 31 kg 16 84 87
    備注    

     

    |曲線圖

     

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