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螺杆泵 NRL90A

NRL係列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用於希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。低噪音、低振動，優良的耐腐蝕性。主要應用於刻蝕、濺射鍍膜、單晶爐、冷凍幹燥等行業領域。

所屬分類：

真空泵

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螺杆式真空泵

NRL係列

螺杆幹泵

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關鍵詞：

真空泵

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  • 產品特點和用途
  • 產品參數和曲線圖
  • |特點

    1、NRL係列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用於希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣；

    2、低噪音、低振動，優良的耐腐蝕性；

    3、標準零部件采用高硬度並經過優異的防腐蝕特殊表麵處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度；

    4、可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。

     

    |用途

    1、活性氣體（CVD、刻蝕等）；

    2、排出非活性氣體（濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）；

    3、用於產生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）；

    4、作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）；

    5、冷凍幹燥等水蒸氣排氣。

     

  • |規格參數
    型式　 NRL60A NRL90A NLR180A
    排氣速度 m3/h 50hz 70.0  116.0  200.0 
    m³/h 60hz 84.0  140 240
    極限壓力 Pa   5.0 
    電機電壓 V        
    額定功率 kW   2
    冷卻水量 L/min   5
    氣體吹掃 SLM        
    噪音值 dB(A)        
    進氣口     VG50 VG80 VG80
    排氣口     NW40
    重量 kg   128 188 268
    尺寸 mm        
    備注          

     

    |排氣曲線圖

     

     

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