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羅茨泵 LR90
LR係列羅茨幹泵是通過低溫區域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適於那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
所屬分類：
真空泵
幹式真空泵
多級羅茨型真空泵
LR係列
多級羅茨型幹泵
愛發科
關鍵詞：
真空泵
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- 產品特點和用途
- 產品參數和曲線圖
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|特點
1、低溫區域均熱化（LR係列） 在PVD工藝之外，尤其適於那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵；
2、氦氣密封 通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全；
3、瞬停對策 采取了1000msec以內瞬停對策；
4、出色的耐腐蝕性 主要零部件均采用表麵硬度高、高耐腐蝕性的特殊表麵處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕；
5、通信功能 可讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告/報警履曆。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監控。
|用途1、成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）；
2、縮短備料下料室的排氣時間；
3、作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）。
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|規格參數
型式 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T 排氣速度 m3/h 50hz 62.0 112.0 183.0 440.0 m³/h 60hz 80.0 126.0 237.0 極限壓力 Pa 5.0 電機電壓 V 三相：200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) 三相：180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)額定功率 kW 冷卻水量 L/min 5 氣體吹掃 SLM 噪音值 dB(A) 進氣口 VG50(KF50) VG80(KF50) VG100 排氣口 KF40 VG50 重量 kg 180 245 335 415 尺寸 備注 |排氣曲線圖
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