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低溫泵 CRYO-U22P(B)

CRYO-U係列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠製造出高真空的低溫泵係列。 根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有廣泛的產品陣容供您選擇。

所屬分類：

愛發科

真空泵

低溫泵

愛發科低溫泵

關鍵詞：

愛發科

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  • 產品特點和用途
  • 產品參數和曲線圖
  • |特點

    1、低溫泵是通過在真空容器內形成極低溫麵，把容器內的氣體分子冷凝、吸附在此低溫麵上，將其從真空環境中除去的泵。

    2、被冷凝氣體的飽和蒸汽和被吸附氣體的吸附平衡壓降至10-8pa以下時，低溫泵才能有效進行抽氣。

    3、這是使用了2段式GM冷凍機的能夠製造出高真空的低溫泵係列。

     

    |用途

    用於半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域。

  • |規格參數

     

    型式　   CRYO-U20P CRYO-U22P CRYO-U22WB CRYO-U22H CRYO-U30H
    排氣速度 @20℃ L/s 氬 10000.0  11500.0  13000.0  17000.0  28000
    氫 18000.0  14000.0  16500.0  25000.0  43000
    氬 8400.0  9700.0  11000.0  14000.0  23000
    水 29000.0  39000.0  39000.0  39000.0  70000
    極限壓力 Pa   10的負7次方
    流量 Pa L/s 氬 1.1×103 1.7×103 3.5×103 4.1×103 2.7×103
    氫 5.0×102 5.0×102 1.3×103 1.3×103 7.4×102
    排氣容量   氬 5.8×108 5.8×108 8.1×108 8.1×108 7.8×108
    氫 4.6×106 6.0×106 8.5×106 8.5×106 1.5×107
    吸氣法蘭     UVG-500 UVG-550  
    冷卻下降時間 分 50/60Hz 180/160 180/170 165/150 150/135 240/200
    質量 KG   69 115 125 175
                   

     

    |曲線圖

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