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工藝電源 RFS-1310N

RFS-N係列是輸出頻率13.56MHz、功率0.5kW/1/kW/3kW/5kW的等離子工藝用RF電源。裝載高效率RF放大器實現了小型·輕量化。另外，RF電源內置自動匹配控製器功能，僅從主機單元就可以對RF電源進行電力控製及匹配係統控製。

所屬分類：

愛發科

工藝電源

RF射頻電源

射頻電源

電源

關鍵詞：

愛發科

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  • 產品特點和用途
  • 產品參數和曲線圖
  • |特點

    1、高效率
         配有高功率轉換效率的RF電路以節省能量。

    2、快速自動匹配
         快速算法實現快速自動匹配。

    3、RF電源內置自動匹配功能
         隻有主機才能進行匹配係統控製。
         可通過內置控製器手動控製RF電源和匹配器

    4、靈活的控製
         外部模擬控製，可實現串聯通信控製。

    5、可靠性高
          對作為設備製造商所積累的設計經驗。

     

     

    |用途

    1、濺射設備

    2、CVD設備

    3、等離子蝕刻設備

    4、RF離子源

    5、中和劑

     

     

  • |規格參數

     

    型式　 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N
    入力樣式 輸入電壓 單相 AC180~242V 3相 AC180~242V
    入力容量 1.2KVA 1.8KVA 5KVA 8KVA
    輸出樣式 發振頻率 13.56 MHZ
    額定進行波輸出（50Ω負荷時） 500W 1KW 3KW 5KW
    最大發射波輸出 100W 500W
    諧波失真率 -35db以下
      控製精度 額定輸出的±2%以下
    控製保證範圍 額定電力值的10~100%
    冷卻方式 強製空冷 水冷（4L/min) 水冷（6L/min)
    質量（Kg） 11 23
    外形尺寸 W×D×H （mm） 240×495×150 （不含凸起物） 480×495×150 （不含凸起物）
    備注  

     

    |曲線圖

     

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