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工藝電源 A2K-20K

A2K係列是在反應性濺射工藝中，在DC電源輸出上脈衝施加正電壓，中和靶材上的積蓄電荷來防止異常放電的附加單元。能在原來的電源上簡單的追加，低成本實現產量和良率提高。

所屬分類：

愛發科

工藝電源

DC電源

異常放電防止單元

電源

關鍵詞：

愛發科

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  • 產品特點和用途
  • 產品參數和曲線圖
  • |特點

    1、高產量
         通過減少異常放電可以輸入更高功率

    2、基板損傷減少
         能夠減少電弧引起的基板損

    3、控製基板的問題
         與RF濺射相比，可以降低基板溫度

    4、簡單的連接性
         可以連接到現有設備

    5、可變的反向脈衝頻率
          A2KH-25/50：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～ 50kHz範圍內可使用

    6、脈衝同步係統
         可以輸出多個A2K單元的同步脈衝 *2 *3

    7、主從連接可實現大容量
         A2K-20K、40K多達可以6台並聯運行

     

    |用途

    1、FPD用反應濺射設備

    2、工業塗層用反應濺射設備

    3、彩色TFT用反應濺射設備

  • |規格參數

     

    型式　 A2KH-25 A2K-20K A2K-40K
    控製電源入力規格 輸入電壓 單相 AC90~110V 單相AC90~264V
    入力容量 100AV 400AV
    入力規格 動作電壓 -800v
    動作電流 25A 50A 100A
    入力結構 MS3106B  22-2P 一般式接口 1係統 一般式接口 2係統
    冷卻方式 強製空冷
    質量（Kg） 16 30 45
    外形尺寸 W×D×H （mm） 238×450×149（不含凸起物） 483×630×177 （不含凸起物）
    備注  

     

    |曲線圖

     

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