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渦旋泵 DIS-90
DIS係列渦旋泵是雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。可在大氣壓下實現操作運行，可實現高極限真空，低振動低噪音，維護周期可通過計時表控製。主要應用於分析設備、塗裝設備、氦氣檢漏儀、半導體製造工藝等領域。
所屬分類：
渦旋幹泵
真空泵
幹式真空泵
渦旋式幹泵
關鍵詞：
渦旋幹泵
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- 產品特點和用途
- 產品參數和曲線圖
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|特點
1、結構緊湊，排氣量大；
2、雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋；
3、幹式真空泵的最高壓力水平；
4、內置自動複位型熱保護器等安全設計；
5、通過空氣衝洗抑製水分凝結。
|用途1、分析設備；
2、氣體回收係統；
3、塗裝設備；
4、TMP的背泵；
5、氦氣檢漏儀；
6、半導體製造工藝。
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|規格參數
型式 DIS90 DIS252 DIS501 DISL102 DISL503 排氣速度 m3/h 50hz 5.4 12.0 30.0 6.0 26.0 60hz 6.5 14.4 36.0 7.2 31.0 極限壓力 Pa 5.0 1.6 1.0 20.0 30.0 電機電壓 V 單相, 100/115/200/230V 單相：100V/115V/200V/230V；三相：200V/208V/230V/380V/400V/415V/460V 單相：100/115/200/230V；三相：200/208/230/380/400/415/460V 單相, 100/115/200/230V 50hz：3相，200/380/400/415V；60hz：3相，200/220/230/460V 額定功率 kW 150 400 600 300 50hz 900W / 60hz 1100W 冷卻水量 L/min 氣體吹掃 SLM 噪音值 dB(A) ≦52 ≦70 進氣口 KF-25 KF-25 KF-40 KF-25 KF-25 排氣口 KF-16 KF-16 KF-25 KF-16 KF-25 重量 kg 14.0 25.0 44.0 17.0 34.0 尺寸 mm 214(W)×308(L)×225(H) 264(W) × 397(L) × 338(H) 三相：292(W)×372(L)×397(H) 221(W)×380(L)×218(H) 317(W)×521(L)×280(H) 備注 |排氣曲線圖
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