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磁懸浮渦輪分子泵 UTM1200A

采用磁懸浮控製器一體型，通過泵本體與控製器一體化，實現了省配線，省空間等優點。渦輪分子泵主要應用於半導體、薄膜等工業領域。

所屬分類：

控製器一體型

磁懸渦輪浮分子泵

關鍵詞：

控製器一體型

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  • 產品特點和用途
  • 產品參數和曲線圖
  • |特點

    1、采用磁懸浮控製器一體型分子泵；通過泵體的本體與控製器一體化，實現了省配線，省空間。
    2、推出排氣速度1000L/s-3000L/s種類；
    3、不需要將泵體和控製器直接配上複雜的配線；
    4、自由安裝方向，沒有安裝方向的限製，所以裝置設計的自由擴大；
    5、泵回轉數可在25-100%的範圍變更，因此能夠調整腔體壓力；
    6、用於Light工藝的廣域大流量設計；
    7、有高耐久性和安全性。

     

    |用途

    主要應用於半導體、薄膜等工業領域。 

  • |規格參數

     

        UTM-1200A UTM-1600A UTM-2300A UTM-3400A
    吸氣口   VG150 / ISO160F VG200-250 / ISO200-250F VG250 / ISO250F VG300-350 / ISO320F
    排氣口   KF40
    排氣速度*2、*3（L/sec） N2 1030.0  1400.0  2100.0  3200.0 
    Ar 980.0  1330.0  2000.0  3100.0 
    H2 660.0  750.0  1380.0  2100.0 
    極限壓力(n2)pa   10的負7次方
    壓縮比 N2 2×108 1×108以上 1×109以上
    He 7×103 5×103 1×105
    H2 8×102 9×102 6×103
    冷卻方式   水冷  
    噪音（db）   57 60
    質量（kg）   43 41 56 94
    輔助泵排氣速度（L/h）   36.00以上 90.00以上
    回轉數（rpm)   37200 33700 27600
    啟動時間   8分鍾以內 9分鍾以內 16分鍾以內
    外部控製 遠程接口 D-sub25PIN,接點入輸出 D-sub37PIN,接點入輸出
    串行接口 專用圓形接口，RS232C/RS485 D-sub9PIN,RS232C/RS485
    控製器 構成 與泵本體一體（內裝與底部）
    電源 單相AC220-240V±10%（50/60Hz）
    輸出 0.75KVA 1.2KVA
    冷卻水流量（L/min)   3-4

     

    |曲線圖

     

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