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NRL係列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用於希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。低噪音、低振動,優良的耐腐蝕性。主要應用於刻蝕、濺射鍍膜、單晶爐、冷凍幹燥等行業領域。
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