圖片名稱

產品中心

+
  • DC-10-P.png

工藝電源 DC-5P

DC-P係列是對反應性工藝中產生的電弧有效的電源。由於設定了的周期性反轉輸出電壓，中和靶材表麵積蓄的電荷，實現了良率和產能的提高。

所屬分類：

愛發科

工藝電源

DC脈衝電源

電源

關鍵詞：

愛發科

聯係我們
  • 產品特點和用途
  • 產品參數和曲線圖
  • |特點

    1、高產量
         通過減少異常放電可以輸入更高功率

    2、基板損傷減少
         能夠減少電弧引起的基板損壞

    3、可變的反向脈衝頻率
         可在10kHz至250kHz範圍內使用

    4、主/從連接允許大容量
         多達可以6台並聯運行（可以使用相同型號）

    5、DC輸出也可以
         PULSE功能停止後，也可以當作極低電弧性能的DC電源使用

     

    |用途

    1、FPD用反應濺射設備

    2、工業塗層用反應濺射設備

    3、彩色TFT用反應濺射設備

     

  • |規格參數

     

    型式　 DC-2 DC-4 DC-5P DC-10P
    入力樣式 輸入電壓 3相 AC180~242V 三相 AC187~229V
    入力容量 3.5KVA以下 6.2KVA以下 8kVA 13.5kVA
    輸出樣式 最大額定輸出 2kw 4kw 5kw 10kw
    額定電流 5A 10A 12.5A 25A
    額定電壓 -800v -650v / -800v
    點火電壓 -1200V -1500V
    異常放電控製 當檢測到異常放電時變頻器停止
    控製 控製方式 恒功率控製（P控製）/恒流控製（I控製）/恒壓控製（V控製）
    控製精度 設定值的±1% 額定輸出±0.5%以下或設定值的±1%，以大的值為準
    控製保證範圍 額定功率值的1至100% 額定功率值的10至100%
    冷卻方式 強製空冷
    質量（Kg） 15 29 36
    外形尺寸 W×D×H （mm） 241×610×133 （不含凸起物） 483×630×133 （不含凸起物）
    備注          

     

    |曲線圖

     

相關產品