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工藝電源 MFU-20K

MFU-20K是通過與ULVAC製DC電源組合，將直流輸出轉換為雙極脈衝輸出的單元。以低成本實現良率和產量的提高。

所屬分類：

愛發科

工藝電源

MF中頻電源

電源

關鍵詞：

愛發科

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  • 產品特點和用途
  • 產品參數和曲線圖
  • |特點

    1、頻率範圍寬
         可以在10kHz～100kHz的範圍內 ※1

    2、主/從連接允許大容量
         多達可以進行6台並行操作

    3、可以DC輸出
         輸入DC電源的輸出可以照原樣施加到陰極 ※2

     

    |用途

    1、FPD用反應濺射設備

    2、工業塗層用反應濺射設備

    3、彩色TFT用反應濺射設備

    4、一般濺射設備

     

  • |規格參數

     

    型式　 MFU-20K
    控製電源入力 輸入電壓 單相 AC90~264V
    入力容量 400VA
    入力規格 動作電壓 0 ~ -1000V
    最大動作電流 50A
    點火電壓 -1200V
    輸出規格 最大輸出電壓 1000V（RMS）
    點火電壓 DC-1200V
    最大輸出電流 50A
    冷卻方式 強製空冷
    質量（Kg） 29
    外形尺寸 W×D×H （mm） 483×630×177 （不含凸起物）
    備注    

     

    |曲線圖

     

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