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工藝電源 RMG-1303

RMG-1303是適用於RF濺射、CVD、刻蝕等，等離子工藝的13.56MHz，300W功率的匹配器一體式RF電源。匹配器和RF電源一體化設計，體積小、重量輕。適用於從研究開發設備到量產設備的廣泛領域。

所屬分類：

愛發科

工藝電源

RF射頻電源

RF電源匹配器一體機

電源

關鍵詞：

愛發科

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  • 產品特點和用途
  • 產品參數和曲線圖
  • |特點

    1、可通過低輸出功率進行控製
    2、可通過1W的低輸出功率進行控製
    3、標準配備脈衝RF輸出功能
    4、標準搭載500Hz～100KHz的脈衝RF輸出功能，可在低功率下進行控製
    5、標配外部同步端子
    6、標準搭載端子（BNC端子），用於疊加操作的13.56MHz同步信號的輸入和輸出
    7、AC100V至AC220V 的廣泛輸入
    單相 100V 至 220V / 50Hz 至 60Hz 的廣泛輸入
    8、體積小、重量輕
    200mm×200mm×350mm / 10Kg的小型輕量電源
    9、支持各種規格
    RoHS,CE,KC,SEMI-F47兼容

     

    |用途

    1、濺射設備
    2、CVD設備
    3、等離子清洗設備
    4、等離子刻蝕設備
    5、等離子去膠設備
    6、RF離子源
    7、射頻中和器

  • |規格參數

    電源功能部分

    型式　 RMG-1303
    額定輸入電壓 單相50/60hz AC100V~220V
    額定輸入容量 700VA
    泄漏電流 5mA 以下
    輸入接口 IEC60320-C14
    振蕩頻率 13.56MHz±0.01% *1
    額定行波功率 300W (50Ω負載時)
    額定反射波功率 80W
    功率穩定性 ±1%以內或±2W以內的較大值(50Ω負載)
    冷卻方式 風扇強製空冷
    備注 可輸出500Hz～100KHz的脈衝RF

     

    匹配器功能部分

     

    型式　 RMG-1303
    額定功率 300W
    額定電流 10Arms
    額定電壓 2500Vpp/±2500Vdc(標準) *2
    輸出電極 2-M4(標準)･N･HN･DIN7/16 *3
    匹配精度 VSWR1.2或者3W以下
    備注 可選擇變更額定電壓
    可選擇更改為連接器輸出類型

     

    |曲線圖

     

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