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工藝電源 MBX-係列

MBX係列是屬於RFS係列專用匹配箱

所屬分類：

愛發科

工藝電源

RF射頻電源

匹配器

電源

關鍵詞：

愛發科

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  • 產品特點和用途
  • 產品參數和曲線圖
  • |特點

    1、高效率 配有高功率轉換效率的RF電路以節省能量。

    2、快速自動匹配 快速算法實現快速自動匹配。

    3、RF電源內置自動匹配功能 隻有主機才能進行匹配係統控製。

    4、可通過內置控製器手動控製RF電源和匹配器

    5、靈活的控製 外部模擬控製，可實現串聯通信控製。

    6、可靠性高 對作為設備製造商所積累的設計經驗。

     

    |用途

    1、濺射設備

    2、CVD設備

    3、等離子蝕刻設備

    4、RF離子源

    5、中和劑

     

  • 參數
    型式　 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N
    允許入力電力 30~500W 30~1KW 30~3KW 50~5KW
    允許輸出電流 30A 80A 120A
    允許輸出電壓 2.5KV pp 5KV pp 10KV pp
    冷卻方式 強製空冷 水冷（2L/min)
    質量（Kg） 8 10 21
    外形尺寸 W×D×H （mm） 375×250×120 （不含凸起物） 375×250×170 （不含凸起物） 450×500×248 （不含凸起物）
    備注  

     

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