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氣體分析儀 CGM-051

CGM係列分析儀適合於濺射設備的工藝管理（品質管理、提高效率）。

所屬分類：

愛發科

濺射工藝

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氣體分析儀

關鍵詞：

愛發科

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  • 產品特點和用途
  • 產品參數和曲線圖
  • |特點

    1、適用於各種濺射係統的工藝監控
    2、Air Leak監控
    3、殘留水分管理
    4、無需差動排氣係統（less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar）
    5、內置顯示屏：無需PC可單獨操作使用
    6、可進行高靈敏度泄漏測試（CGM2-052）
    7、可進行全壓測定
    8、操作簡單-One Click功能
    9、標配Qulee QCS軟件
    10、支持CE標準

    |用途

    1、適用於濺射設備的殘餘氣體分析、工藝監控和雜質管理(H2O)。
    2、用於濺射設備的泄漏測試。

  • |規格參數

     

    型式　 CGM2-051 CGM2-052 CGM2-101 CGM2-102
    質量數範圍 1～50 amu 1～100 amu 1～50 amu 1～100 amu
    靈感度 0.1uA/Pa 0.1mA/Pa
    最小檢知分壓 1x10-7Pa 1x10-10Pa
    最大使用壓力 2Pa 2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM)
    線性 1Pa
    全壓力測量功能 有
    一鍵檢漏功能 有
    電源電壓 DC24V±10％　50W
    最大烘烤可能溫度
    (傳感器單元連接時)    		 120℃
    最大烘烤可能溫度
    (傳感器單元移除時)    		 250℃
    使用溫度範圍 10～40℃
    接口 Ethernet
    軟件 Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）適用
    備注  

     

    |曲線圖

     

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